杂志简介：《微细加工技术》杂志经新闻出版总署批准，自1983年创刊，国内刊号为43-1140/TN，是一本综合性较强的电子期刊。该刊是一份双月刊，致力于发表电子领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术
《微细加工技术》自1983年创刊，国内刊号为43-1140/TN，本刊积极探索、勇于创新，栏目设置及内容节奏经过编排与改进，受到越来越多的读者喜爱。
《微细加工技术》杂志学者发表主要的研究主题主要有以下内容：
（一）微机电系统；MEMS；微机械；形状记忆合金；微驱动器
（二）微机电系统；MEMS；微机械；微机电系统技术；电磁驱动
（三）微机电系统；MEMS；微机电系统技术；双稳态；微加工
（四）电极；MEMS；微机电系统；压电；微针
（五）电子束；电子束光刻；微机电系统；抗蚀剂；聚合酶链式反应
（六）电子束曝光机；聚焦离子束；液态金属离子源；电子束曝光；图形发生器
（七）光刻；相移掩模；光刻系统；干涉光刻；光刻技术
（八）光刻分辨力；投影光刻物镜；原子束；光刻；光子晶体
（九）碳纳米管；形状记忆合金；微驱动器；纳米；图形化
（十）电子束光刻；电子束曝光；电子束直写；抗蚀剂；电子束
1、本刊恕不退稿。凡投稿三个月内未接到任何采用通知者可改投他刊。
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引证文献：又称来源文献，是指引用了某篇文章的文献，是对本文研究工作的继续、应用、发展或评价。这种引用关系表明了研究的去向，经过验证，引证文献数等于该文献的被引次数。引证文献是学术论著撰写中不可或缺的组成部分，也是衡量学术著述影响大小的重要因素。
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